（原標(biāo)題：東方晶源亮相SEMICON CHINA2021硬核技術(shù)展現(xiàn)半導(dǎo)體制造良率管理高水準(zhǔn)）

　　3月15日，SEMICON CHINA 2021中國國際半導(dǎo)體展在上海拉開帷幕。國內(nèi)集成電路良率管理供應(yīng)商東方晶源微電子科技（北京）有限公司如約而至亮相此次展會，帶來三款拳頭產(chǎn)品以及微電子設(shè)計與制造智能良率優(yōu)化綜合解決方案，展現(xiàn)出國內(nèi)設(shè)備廠商在該領(lǐng)域的高水準(zhǔn)。

　　展會剛開始，前來東方晶源展臺的參觀者就絡(luò)繹不絕。很多半導(dǎo)體設(shè)備采購商都對其產(chǎn)品展現(xiàn)出濃厚的興趣并與技術(shù)、銷售人員進(jìn)行深入的溝通和交流。據(jù)悉，多年以來東方晶源聚焦集成電路良率管理領(lǐng)域，推出了計算光刻軟件產(chǎn)品PanGen，以及納米級電子束缺陷檢測裝備（EBI）和關(guān)鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）兩款硬件產(chǎn)品。此外，還創(chuàng)新的提出了前瞻性產(chǎn)品——微電子設(shè)計與制造智能良率優(yōu)化平臺HPO™，為行業(yè)良率管理實(shí)現(xiàn)質(zhì)的飛躍提出了新的解決路徑。

　　值得一提的是，上述產(chǎn)品均為東方晶源自主研發(fā)，突破了數(shù)項“卡脖子”技術(shù)難題，得到客戶的高度認(rèn)可。不僅填補(bǔ)了國內(nèi)市場空白，即便在國際市場上同樣具有競爭力。如此亮眼的成績與其雄厚的技術(shù)實(shí)力密不可分。

　　東方晶源微電子科技（北京）有限公司成立于2014年，自成立之初就確立了以圍繞電子束圖像檢測和良率提升軟件解決方案為企業(yè)主攻方向。七年來在創(chuàng)始人俞宗強(qiáng)博士的帶領(lǐng)下，東方晶源研發(fā)團(tuán)隊?wèi){借工程師精神和讓集成電路自主可控的使命感，披荊斬棘砥礪前行，短短幾年間就申報了國內(nèi)外發(fā)明專利99項，同時還承擔(dān)了三項國家科技02重大專項及一項工業(yè)和信息化部工業(yè)強(qiáng)基專項。可以說東方晶源是我國在電子束硅片圖形缺陷檢測、計算光刻、半導(dǎo)體制造過程質(zhì)量控制等方面的中堅力量。

　　半導(dǎo)體是信息社會的基石，也是信息技術(shù)的重要基礎(chǔ)。未來，半導(dǎo)體自給自足對每個國家的重要性將不亞于以前的鋼鐵和能源。近年來隨著國際環(huán)境的多變，我國越來越意識到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控的重要性，大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的恒心、決心空前。可喜的是在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上已經(jīng)涌現(xiàn)出了一些像東方晶源這樣的企業(yè)，可以實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。相信在良好的政策、融資環(huán)境下，這些企業(yè)將實(shí)現(xiàn)快速騰飛，未來可期。